Jan 19 2019

그림 1 (a)는 200 ℃에서 성장한 1 % N

그림 1 (a)는 200 ℃에서 성장한 1 % NbZnO 막과 어닐링 후 비교 한 것이다. 공기 중에서의 어닐링 작용은 (100) 및 (101) 피크의 강도의 증가뿐만 아니라 0.50에서 0.45 및 0.51에서 0.51까지의 최대 최대 반경 (FWHM)의 감소로 표시되는 바와 같이 필름 결정 성을 향상시킨다 0.44였다. 일반적으로 Nb 함량이 증가할수록 필름의 결정도는 결국 9.1 % 이상으로 비정질로 감소하지만 방향성은 더 커지며 (002) 피크의 경우 입자 크기는 20nm에서 14nm로 감소합니다 Scherrer 방정식을 사용하여 Nb의 1 %에서 6.8 % 로의 증가가 계산된다.

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